“目标是让中国晶圆厂不再担心‘光刻胶断供’”

编者按

重大项目建设，目标是让中稳定经济增长的“压舱石”，更是国晶光刻供培养新质生产力、推动高质量发展的圆厂“强引擎”。连日来，不再湖北日报全媒记者走进重大项目一线，担心看鼎龙光刻胶打破垄断爬坡放量、胶断黄石PCB抢抓AI窗口全速冲刺、目标南漳“超级充电宝”火热建设……感受荆楚大地上涌动的让中发展热潮与创新激情。

6月15日，国晶光刻供在潜江市江汉盐化工业园内，圆厂湖北鼎龙控股股份有限公司年产300吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶产业化项目现场一派繁忙，不再生产线高速运行，担心一批批高端光刻胶产品井然下线，胶断发往国内头部晶圆厂。目标自今年3月20日二期产线正式投产以来，项目稳步爬坡，接连斩获批量订单。

8款高端晶圆光刻胶产品获得批量订单

如果把芯片制造比作在硅片上雕刻纳米级城市，光刻机是雕刻机，那么光刻胶就是这座城市的“规划蓝图”，它决定了雕刻精度、清楚度、完整性，是半导体制造中技术壁垒最高的材料之一。

长期以来，高端KrF、ArF光刻胶市场被日本信越化学、JSR等少数企业垄断，国产化率仅在1%左右。此次落地潜江的年产300吨产线，是国内首条打通“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”全流程的高端晶圆光刻胶量产线，可实现核心树脂、高纯度单体、光致产酸剂等关键原料自主制造，从源头筑牢供应链安全防线。

湖北鼎龙控股股份有限公司潜江园区。 （受访单位供图）

项目投产至今仅两个多月，市场捷报频传。鼎龙股份6月12日发布的公告显示，公司年产300吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶产线自3月投产后，已向两家头部晶圆厂交付数百加仑浸没式ArF及KrF光刻胶，客户近期合计新增订单近1000加仑。

截至公告日，公司已有8款高端晶圆光刻胶产品获得批量订单，较一季度末新增5款。“后续随着产品继续稳定运行，供货份额还将稳步提升，未来一两年订单放量具备较强确定性。”鼎龙股份光刻材料业务总经理刘敏透露。

除已获订单的8款产品外，还有超10款产品进入“加仑样”测试阶段——这是订单转化前的重要关口。随着二期300吨产线产能继续释放，鼎龙股份正稳步扩大对国内主流晶圆厂的供货份额。

“短短4年时间，我们从零起步，到目前累计布局40余款产品，产品覆盖国内主流芯片制造制程。”2022年，当国内面临高端光刻胶可能被断供的风险时，鼎龙股份毅然决定迎难而上，于当年5月正式启动晶圆光刻胶项目。刘敏告诉湖北日报全媒记者，这份“鼎龙速度”的背后，是公司多年积累的平台化优势——此前已在面板光刻胶、先进封装光刻胶领域深耕，并在有机合成、高分子合成等七大技术平台上拥有浓厚积淀。刘敏表示，光刻胶的核心原材料树脂与光酸，恰好能离别依托公司化学碳粉和有机合成的技术积累。“比如光刻胶的树脂，与我们做了20多年的化学碳粉材料同属苯乙烯-丙烯酸酯体系，底层技术是相通的。”

用量产大厂打消客户顾虑

湖北鼎龙控股股份有限公司生产的高端晶圆光刻胶产品。

从实验室到客户产线，光刻胶的验证之路布满荆棘。“这好比在飞机飞行中换引擎。”刘敏道出了国产替代之路的艰辛。

芯片制造是数千道工序的连续运行，更换光刻胶这样的核心材料，差一纳米都可能导致芯片报废“机毁人亡”。海外企业做了三四十年才磨出的配方、工艺、品控体系，国内企业必须用更严苛的标准去对齐。送小样、加量测试、小批量跑货……整个验证周期顺畅的话要2年，不顺畅要3到5年。即便通过验证，客户从切出10%的订单到逐步放量至100%，仍需以“月”为单位观察稳定性。

如何让挑剔的晶圆厂敢于“第一个吃螃蟹”？鼎龙的策略是“给自己断后路”——在研发阶段便同步开建年产300吨的量产大厂。

今年3月，这座建筑面积近1.2万平方米的产线正式投产，一期30吨产线也已稳定运行。公司还建设了光刻胶配方生产线及配套原材料合成纯化平台，实现从核心单体、光酸、树脂到成品光刻胶的全链条自主制造。

“只要路走对了，就不怕远。”刘敏坦言，光刻胶放量是个慢变量，从送样到批量订单至少需要两年，目前潜江基地的产能爬坡正稳步推进，2026年下半年交付量预计显著提升。他说，鼎龙的目标是让中国晶圆厂不再担心“光刻胶断供”，这才是国产材料企业最大的价值。

湖北日报全媒记者 王哲 通讯员 李雪婷

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